SrMnO3阻挡层对La0.8Sr0.2MnO3/Si异质结整流特性的改善
来源期刊：功能材料与器件学报2006年第5期
论文作者：宋雪梅 李彤 李驰平 张铭 严辉 王波
关键词：p-n结; 阻挡层; 择优取向; 整流特性;
摘 要：对用磁控溅射方法在硅基上直接沉积La0.8Sr0.2MnO3和引入SrMnO3(SMO)阻挡层后沉积La0.8Sr0.2MnO3进行了比较.对薄膜结构用X射线衍射试验表征,并分析了薄膜取向生长的原因.卢瑟福背散射实验结果表明,SMO阻挡层的引入显著地削弱了LSMO和Si界面层处的元素互扩散.电学测试表明LSMO/SMO/Si结构比LSMO/Si结构具有更好的p-n结整流特性,而且随SMO缓冲层的增厚,整流特性反而削弱.
宋雪梅1，李彤1，李驰平1，张铭1，严辉1，王波1
(1.北京工业大学,材料科学与工程学院,北京,100022)
摘要:对用磁控溅射方法在硅基上直接沉积La0.8Sr0.2MnO3和引入SrMnO3(SMO)阻挡层后沉积La0.8Sr0.2MnO3进行了比较.对薄膜结构用X射线衍射试验表征,并分析了薄膜取向生长的原因.卢瑟福背散射实验结果表明,SMO阻挡层的引入显著地削弱了LSMO和Si界面层处的元素互扩散.电学测试表明LSMO/SMO/Si结构比LSMO/Si结构具有更好的p-n结整流特性,而且随SMO缓冲层的增厚,整流特性反而削弱.
关键词:p-n结; 阻挡层; 择优取向; 整流特性;
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