切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征
来源期刊：功能材料2009年第11期
论文作者：贾颖 孙宝元 杨德顺 崔云先 徐军
关键词：切削刀具; 测温传感器; SiO_2绝缘薄膜; 多层复合; 磁控溅射; cutter; measurement temperature sensor; SiO_2 insulating thin film; multilayer composite; magnetron sputtering;
摘 要：利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO_2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备工艺.通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO_2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进行了观测,结果表明,制备的多层复合SiO_2薄膜厚度小、绝缘性好,绝缘电阻达到9.5×10~(12)Ω.其与金属基体结合力可达16.7N,满足制作切削刀具测温传感器的要求.
贾颖1，孙宝元2，杨德顺1，崔云先3，徐军4
(1.大连交通大学,机械工程学院,辽宁,大连,116028;
2.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024;
3.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,11602;
4.大连理工大学,三束国家重点实验室,辽宁,大连,116024)
摘要:利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO_2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备工艺.通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO_2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进行了观测,结果表明,制备的多层复合SiO_2薄膜厚度小、绝缘性好,绝缘电阻达到9.5×10~(12)Ω.其与金属基体结合力可达16.7N,满足制作切削刀具测温传感器的要求.
关键词:切削刀具; 测温传感器; SiO_2绝缘薄膜; 多层复合; 磁控溅射; cutter; measurement temperature sensor; SiO_2 insulating thin film; multilayer composite; magnetron sputtering;
【全文内容正在添加中】
