微波等离子体刻蚀脱碳预处理对金刚石涂层刀具附着力和切削性能的影响
来源期刊：机械工程材料2000年第4期
论文作者：沈荷生 夏琦 孙方宏 张志明 何贤昶
关键词：CVD金刚石涂层; 微波等离子体刻蚀; 硬质合金刀具; 附着力; 切削性能;
摘 要：用EACVD法在硬质合金(YG6)刀具上沉积金刚石涂层;用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理,以期提高金刚石涂层的附着力和涂层刀具的切削性能;附着力采用压痕法计算测定,切削性能通过对碳化硅增强铝基复合材料的切削试验测定;用X射线应力仪测试了涂层残余应力,并就不同预处理对性能的影响进行了分析和讨论.
沈荷生1，夏琦1，孙方宏1，张志明1，何贤昶1
(1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030)
摘要:用EACVD法在硬质合金(YG6)刀具上沉积金刚石涂层;用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理,以期提高金刚石涂层的附着力和涂层刀具的切削性能;附着力采用压痕法计算测定,切削性能通过对碳化硅增强铝基复合材料的切削试验测定;用X射线应力仪测试了涂层残余应力,并就不同预处理对性能的影响进行了分析和讨论.
关键词:CVD金刚石涂层; 微波等离子体刻蚀; 硬质合金刀具; 附着力; 切削性能;
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