掺杂ZnO薄膜的研究现状
来源期刊：材料导报2008年增刊第1期
论文作者：张修兴 文军 吴小丽 潘峰 陈长乐
关键词：ZnO薄膜; P型掺杂; 稀土掺杂; 受激发光; 稀磁半导体;
摘 要：ZnO薄膜的性质取决于不同的掺杂元素和不同的制备工艺.概述了掺杂ZnO薄膜的研究现状,分析了不同掺杂组分对ZnO薄膜的p型转变特性、发光特性以及铁磁性质的影响,认为稀土掺杂可能使ZnO薄膜产生新的发光特性,共掺杂技术可能是实现ZnO薄膜特性改变的新途径.
张修兴1，文军2，吴小丽2，潘峰2，陈长乐2
(1.渭南师范学院物理系,渭南,714000;
2.西北工业大学应用物理系,西安,710072;
3.陕西理工学院物理系,汉中,723001)
摘要:ZnO薄膜的性质取决于不同的掺杂元素和不同的制备工艺.概述了掺杂ZnO薄膜的研究现状,分析了不同掺杂组分对ZnO薄膜的p型转变特性、发光特性以及铁磁性质的影响,认为稀土掺杂可能使ZnO薄膜产生新的发光特性,共掺杂技术可能是实现ZnO薄膜特性改变的新途径.
关键词:ZnO薄膜; P型掺杂; 稀土掺杂; 受激发光; 稀磁半导体;
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