Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析
来源期刊：功能材料2007年第7期
论文作者：费维栋 蒋建清 杨帆 高忠民
关键词：Pb(Zr,Ti)O3薄膜; X射线二维衍射; 多晶面探衍射仪; 残余应力;
摘 要：根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布.
费维栋1，蒋建清2，杨帆2，高忠民3
(1.哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;
2.东南大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211189;
3.吉林大学,化学学院,吉林,长春,130012)
摘要:根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布.
关键词:Pb(Zr,Ti)O3薄膜; X射线二维衍射; 多晶面探衍射仪; 残余应力;
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