紫外激光脉冲沉积法制备高温超导（Bi,Pb）2Sr2CaCu2O8薄膜的研究
来源期刊：功能材料2013年第11期
论文作者：张辉 何恩全 杨宁 张鹏翔 阮耀钟
文章页码：1642 - 3295
关键词：(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜;紫外脉冲激光沉积技术;X射线衍射;
摘 要：用紫外脉冲激光沉积技术在单晶衬底上制备高温超导(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜,系统研究了不同镀膜参数对薄膜结晶质量的影响,获得了优化的镀膜工艺。并在较低温沉积、高温退火,以及高温沉积两种工艺下均获得了具有c轴取向、无杂相及无挥发(分解)的(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜。相比于高温沉积,低温沉积、高温退火制备的薄膜结晶质量更好。
张辉1,2，何恩全2，杨宁2，张鹏翔2，阮耀钟1
1. 中国科学技术大学化学与材料科学学院2. 昆明理工大学材料科学与工程学院
摘 要：用紫外脉冲激光沉积技术在单晶衬底上制备高温超导(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜,系统研究了不同镀膜参数对薄膜结晶质量的影响,获得了优化的镀膜工艺。并在较低温沉积、高温退火,以及高温沉积两种工艺下均获得了具有c轴取向、无杂相及无挥发(分解)的(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜。相比于高温沉积,低温沉积、高温退火制备的薄膜结晶质量更好。
关键词：(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜;紫外脉冲激光沉积技术;X射线衍射;
