水热处理对SnO2厚膜气敏传感器性能的影响
来源期刊：功能材料2005年第9期
论文作者：孙海燕 刘秀琳 蒋民华 李梅 崔得良 王成建 徐红燕
关键词：SnO2纳米粉; 水热处理; 气敏传感器; 灵敏度; 选择性;
摘 要：研究了水热处理对于SnO2厚膜气敏传感器性能的影响.为了便于作对比,首先把SnO2纳米粉(平均粒径约200nm)平均分为两份:一份不经处理,直接用传统的厚膜传感器制备工艺制成气敏传感器(称为"原粉传感器");另一份经过200℃水热处理后,用同样的工艺制备成厚膜气敏传感器(称为"预处理粉传感器").利用乙醇、丙酮、CH4、H2和CO气体对这两种气敏传感器的性能进行了测试,结果表明预处理粉传感器的灵敏度和选择性明显优于原粉传感器.为了分析出现这种差异的原因,我们对这两种传感器的显微结构进行了分析,并在此基础上对实验现象进行了讨论.
孙海燕1，刘秀琳1，蒋民华1，李梅1，崔得良1，王成建1，徐红燕1
(1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100;
2.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100)
摘要:研究了水热处理对于SnO2厚膜气敏传感器性能的影响.为了便于作对比,首先把SnO2纳米粉(平均粒径约200nm)平均分为两份:一份不经处理,直接用传统的厚膜传感器制备工艺制成气敏传感器(称为"原粉传感器");另一份经过200℃水热处理后,用同样的工艺制备成厚膜气敏传感器(称为"预处理粉传感器").利用乙醇、丙酮、CH4、H2和CO气体对这两种气敏传感器的性能进行了测试,结果表明预处理粉传感器的灵敏度和选择性明显优于原粉传感器.为了分析出现这种差异的原因,我们对这两种传感器的显微结构进行了分析,并在此基础上对实验现象进行了讨论.
关键词:SnO2纳米粉; 水热处理; 气敏传感器; 灵敏度; 选择性;
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