电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究
来源期刊：金属学报2003年第1期
论文作者：王福会 孙超 李明升 闻立时 宫骏 王铁钢
关键词：电弧离子镀; (Ti; Al)N薄膜; 结构变化; 力学性能;
摘 要：利用电弧离子镀设备在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)N薄膜;X射线衍射分析表明,x在0-0.5之间时,薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出现B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增加,晶格常数减小,B1结构的薄膜择优取向由(111)向(220)转变.力学性能测试表明,适当Al含量可以提高薄膜的硬度、膜基结合强度及抗磨损性能;B1结构(Ti,Al)N薄膜的氧化实验表明,随着Al含量的增加,薄膜抗氧化性能显著提高.
王福会1，孙超2，李明升1，闻立时2，宫骏2，王铁钢2
(1.中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室,沈阳110016;
2.中国科学院金属研究所,沈阳110016)
摘要:利用电弧离子镀设备在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)N薄膜;X射线衍射分析表明,x在0-0.5之间时,薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出现B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增加,晶格常数减小,B1结构的薄膜择优取向由(111)向(220)转变.力学性能测试表明,适当Al含量可以提高薄膜的硬度、膜基结合强度及抗磨损性能;B1结构(Ti,Al)N薄膜的氧化实验表明,随着Al含量的增加,薄膜抗氧化性能显著提高.
关键词:电弧离子镀; (Ti; Al)N薄膜; 结构变化; 力学性能;
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