利用无机盐制备γ-Al2O3粉体与薄膜的工艺技术研究

余萍¹，王欢¹，肖定全¹，杨志华¹

(1.四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064)

摘要:发明了γ-A12O3基陶瓷气敏传感器材料体系,并正研究其薄膜型传感器件.本文以廉价的无机盐Al(NO3)3·9H2O为原料,通过溶胶-凝胶法制备了勃姆石(γ-A1OOH)溶胶,然后经干燥、煅烧制备了γ-Al2O3的粉体,并通过旋转涂覆工艺制备了γ-A12O3的薄膜,应用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等现代分析技术对粉体的物相和薄膜的组分及表面形貌进行了表征,对γ-A1OOH溶胶制备过程中的一些影响因素进行了探讨,得出了比较好的制备γ-Al2O3基陶瓷粉体和薄膜型气敏传感器的工艺技术条件.

关键词:无机盐先驱物; 溶胶-凝胶法; 陶瓷粉体; γ-Al2O3薄膜;

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