Cr和CrTi底层对CoCrPt薄膜介质的磁和结构性能的影响
来源期刊:稀有金属材料与工程2005年第10期
论文作者:宋敏 林更琪 李震 杨晓非 程晓敏 游龙 李佐宜
关键词:底层; 磁性能; CoCrPt薄膜; underlayer; magnetic properties; CoCrPt thin films;
摘 要:为了改善记录介质的磁性能,研究了溅射Cr和CrTi底层对Co68Cr17Pt15性能的影响.发现在玻璃盘基和CoCrPt磁性层之间引入100 nm厚的Cr底层,可使介质矫顽力从56 kA·m-1增加到127 kA·m-1,同时剩磁比和矫顽力矩形比分别增加66%和74%.同时还发现Cr底层厚度对介质磁性能有较大影响.考虑到减小Cr底层和磁性层的晶格匹配,在Cr底层里添加Ti元素,当Ti原子分数达到1.5%时,即使在室温下溅射,薄膜也有好的面内磁滞回线,此时矫顽力可达到160 kA·m-1.X射线衍射表明在介质中引入Cr和CrTi底层,由于薄膜能更好的沿着垂直于易磁化轴方向生长而使介质性能提高.
宋敏1,林更琪1,李震1,杨晓非1,程晓敏1,游龙1,李佐宜1
(1.华中科技大学,湖北武汉430074)
摘要:为了改善记录介质的磁性能,研究了溅射Cr和CrTi底层对Co68Cr17Pt15性能的影响.发现在玻璃盘基和CoCrPt磁性层之间引入100 nm厚的Cr底层,可使介质矫顽力从56 kA·m-1增加到127 kA·m-1,同时剩磁比和矫顽力矩形比分别增加66%和74%.同时还发现Cr底层厚度对介质磁性能有较大影响.考虑到减小Cr底层和磁性层的晶格匹配,在Cr底层里添加Ti元素,当Ti原子分数达到1.5%时,即使在室温下溅射,薄膜也有好的面内磁滞回线,此时矫顽力可达到160 kA·m-1.X射线衍射表明在介质中引入Cr和CrTi底层,由于薄膜能更好的沿着垂直于易磁化轴方向生长而使介质性能提高.
关键词:底层; 磁性能; CoCrPt薄膜; underlayer; magnetic properties; CoCrPt thin films;
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