化学腐蚀工艺对锗单晶片机械强度的影响
来源期刊：材料导报2019年第S2期
论文作者：吕菲 田原 宋晶 杨春颖 刘雪松
文章页码：428 - 430
关键词：锗单晶片;化学腐蚀;机械强度;粗糙度;
摘 要：锗单晶的机械强度受单晶生长方式和加工工艺等多因素的影响。在衬底片的加工过程中,晶片的强度随加工工艺变化。切割和磨削后的锗单晶片强度都很低,经过化学腐蚀后强度大幅提高,因此化学腐蚀成为影响锗单晶片机械强度的关键工艺。本工作研究了化学腐蚀液的组分、温度、腐蚀方式等对锗抛光片机械强度的影响,有效提高了锗抛光片的机械强度。
吕菲，田原，宋晶，杨春颖，刘雪松
中国电子科技集团公司第四十六研究所
摘 要：锗单晶的机械强度受单晶生长方式和加工工艺等多因素的影响。在衬底片的加工过程中,晶片的强度随加工工艺变化。切割和磨削后的锗单晶片强度都很低,经过化学腐蚀后强度大幅提高,因此化学腐蚀成为影响锗单晶片机械强度的关键工艺。本工作研究了化学腐蚀液的组分、温度、腐蚀方式等对锗抛光片机械强度的影响,有效提高了锗抛光片的机械强度。
关键词：锗单晶片;化学腐蚀;机械强度;粗糙度;
