非平衡闭合场磁控溅射CrTiAlN/MoST复合涂层的性能研究

曾招钦¹，徐润翔¹，施雯¹，徐颖婕¹

(1.上海大学材料科学与工程学院,上海,200072)

摘要:采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrTiAlN单一涂层和CrTiAlN/MoST复合涂层,通过AFM、XRD、显微硬度、划痕和磨损试验综合分析涂层相结构和的表面性能.实验结果表明,CrTiAlN/MoST复合涂层比CrTiAlN单一涂层更光滑、致密,(Cr,Ti,Al)N在(111)晶面呈强烈的衍射峰,无明显的MoS2衍射峰.Crl2MoV经PVD处理后,表面显微硬度和耐磨性得到了明显的提高,尤其是复合涂层,由于CrTiAlN硬涂层抗磨和MoST软涂层减摩的综合作用表现出比CrTiAlN涂层更低的磨损率,主要的磨损机制为逐层剥落的疲劳磨损.

关键词:Crl2MoV钢; 磁控溅射; CrTiAlN/MoST涂层; 摩擦磨损;

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