化学气相沉积过程各参数对沉积速度和薄膜晶体组织结构的影响
来源期刊：理化检验物理分册2001年第10期
论文作者：徐庆元 熊国刚 肖李鹏
关键词：化学气相沉积; 薄膜; 沉积速率; 晶体结构;
摘 要：以氢气还原氯化钨沉积纯钨薄膜为例,简述了化学气相沉积法反应的主要原理,叙述了在反应过程中各参数对沉积速率的影响,及各参数对晶体结构的影响.
徐庆元1，熊国刚1，肖李鹏1
(1.中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川,绵阳,621900)
摘要:以氢气还原氯化钨沉积纯钨薄膜为例,简述了化学气相沉积法反应的主要原理,叙述了在反应过程中各参数对沉积速率的影响,及各参数对晶体结构的影响.
关键词:化学气相沉积; 薄膜; 沉积速率; 晶体结构;
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