磁控溅射MgxZn1-xO薄膜的结构与光学性能研究
来源期刊：材料导报2010年第16期
论文作者：郭瑞 李东临 王怡 武光明 邢光建
文章页码：9 - 28
关键词：MgxZn1-xO薄膜;射频磁控溅射;透过率;光致发光谱;
摘 要：利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了MgxZn1-xO（x=0～0.2）薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计和荧光光谱仪研究了Mg掺杂量对MgxZn1-xO薄膜结构与光学性能的影响。XRD图谱表明,MgxZn1-xO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且呈现出c轴择优生长特性,当x>0.1时薄膜出现（100）面衍射峰,薄膜的c轴择优生长特性减弱,随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小。紫外可见光透射光谱表明,Mg的掺入提高了薄膜在可见光范围内的透过率,同时使薄膜的禁带宽度增大。PL谱分析显示,Mg的掺入使薄膜的紫外发射峰和蓝光发射带发生蓝移,当x=0.1时近带边发射峰与杂质发射的强度比值最高。
郭瑞1,2，李东临2，王怡2，武光明2，邢光建2
1. 北京化工大学材料科学与工程学院2. 北京石油化工学院
摘 要：利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了MgxZn1-xO（x=0～0.2）薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计和荧光光谱仪研究了Mg掺杂量对MgxZn1-xO薄膜结构与光学性能的影响。XRD图谱表明,MgxZn1-xO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且呈现出c轴择优生长特性,当x>0.1时薄膜出现（100）面衍射峰,薄膜的c轴择优生长特性减弱,随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小。紫外可见光透射光谱表明,Mg的掺入提高了薄膜在可见光范围内的透过率,同时使薄膜的禁带宽度增大。PL谱分析显示,Mg的掺入使薄膜的紫外发射峰和蓝光发射带发生蓝移,当x=0.1时近带边发射峰与杂质发射的强度比值最高。
关键词：MgxZn1-xO薄膜;射频磁控溅射;透过率;光致发光谱;
