铜互连微结构中无籽晶RuMoC扩散阻挡层的稳定性（英文）

来源期刊：稀有金属材料与工程2019年第6期

论文作者：邹建雄 林黎蔚 焦国华 鲁远甫 刘波 徐可为

文章页码：1809 - 1813

关键词：热稳定性;大马士革结构;非晶RuMoC薄膜;无籽晶阻挡层;

摘    要：采用磁控共溅射Ru和MoC靶,通过调节掺入MoC的含量获得非晶态RuM oC薄膜,研究了非晶RuM oC薄膜的热稳定性。HRTEM和XRD结果表明,在500℃下RuM oC薄膜依旧保持非晶结构;XPS分析结果表明,在该温度下,Ru-C键依旧保持完好,是RuM oC薄膜良好热稳定的关键。此外,研究了非晶RuM oC薄膜在大马士革铜互连线微结构中的热稳定性。HRTEM结果表明,RuM oC薄膜表面可直接电镀铜,TEM原位EDS结果表明,非晶RuM oC薄膜在500℃下依旧成功阻挡了Cu原子扩散。