简介概要

在位反应制备TiC涂层的动力学研究

来源期刊：材料工程2007年增刊第1期

论文作者：史景利王坤杰郭全贵刘朗

关键词：化学气相沉积; 碳化钛; 涂层; 动力学;

摘要：以TiCl4(99.9%)为钛源,H2(99.99%)为载气和反应气体,Ar(99.99%)为保护和稀释气,石墨为基体和碳源,在位反应制备了TiC涂层.通过实验参数与沉积产物的重量变化,分析了该反应的控制因素,并研究了反应的动力学特点.

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史景利¹，王坤杰¹，郭全贵¹，刘朗¹

(1.中国科学院,山西煤炭化学研究所炭材料重点实验室,太原,030001;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)

摘要:以TiCl4(99.9%)为钛源,H2(99.99%)为载气和反应气体,Ar(99.99%)为保护和稀释气,石墨为基体和碳源,在位反应制备了TiC涂层.通过实验参数与沉积产物的重量变化,分析了该反应的控制因素,并研究了反应的动力学特点.

关键词:化学气相沉积; 碳化钛; 涂层; 动力学;

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