热驱动微型泵的实验研究
来源期刊：功能材料与器件学报2000年第2期
论文作者：过增元 刘理天 庞江涛 徐宁 尹执中 金观昌 胡桅林
关键词：微型机械; 微型泵; 传热; 流动;
摘 要：本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.
过增元1，刘理天2，庞江涛2，徐宁1，尹执中1，金观昌1，胡桅林1
(1.清华大学工程力学系,北京,100084;
2.清华大学微电子所,北京,100084)
摘要:本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.
关键词:微型机械; 微型泵; 传热; 流动;
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