超声振动辅助激光退火对FTO薄膜光电性能的影响

任乃飞^1,2，曹海迪^1,2，黄立静^1,2，李保家^3,2，祖伟^1,2

1. 江苏大学机械工程学院2. 江苏大学光子制造科学技术中心江苏省重点实验室3. 江苏大学材料科学与工程学院

摘 要：在激光退火处理掺氟二氧化锡(FTO)透明导电薄膜过程中引入超声振动,研究了超声振动辅助激光退火对FTO薄膜晶体结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明:与未施加超声振动时相比,该方法可使薄膜上下位移而引起激光聚焦状态发生连续变化,由此保证薄膜处于最佳退火范围内,同时还可使薄膜表面激光熔融区域的颗粒被振动分散,由此抑制颗粒团聚,提高颗粒分布的均匀性和致密度,最终有效地改善薄膜的光电性能。当振动功率为300 W时,薄膜表面结构最为均匀、致密和平整,此时光电性能达到最佳,它在400~800 nm波段的平均透光率为84.7%,方块电阻为9.0?/。

关键词：掺氟二氧化锡(FTO);超声振动;激光退火;光电性能;