GMR读磁头用面内取向CoCrPt永磁薄膜的结构与性能
来源期刊：磁性材料及器件2008年第5期
论文作者：李松田 魏福林 刘曦 史文魁 曹江伟
关键词：CoCrPt薄膜; 织构; 磁性能;
摘 要：用磁控溅射的方法在Cr1-xWx衬底上制备了GMR读磁头中用来提供水平偏置磁场的易轴水平取向的CoCrPt合金薄膜.研究了Cr1-xWx衬底(200)织构与W含量之间的关系,沉积在CrW衬底上的CoCrPt合金薄膜微结构及磁性能,以及CoCr中间层的添加对CoCrPt合金薄膜生长出面内取向的()织构的影响及磁性能的影响.实验结果表明,CoCr中间层的引入对CoCrPt合金薄膜易磁化轴的面内取向起到了十分关键的作用.
李松田1，魏福林1，刘曦1，史文魁1，曹江伟1
(1.兰州大学,磁学与磁性材料教育部重点实验室,磁性材料研究所,甘肃兰州,730000)
摘要:用磁控溅射的方法在Cr1-xWx衬底上制备了GMR读磁头中用来提供水平偏置磁场的易轴水平取向的CoCrPt合金薄膜.研究了Cr1-xWx衬底(200)织构与W含量之间的关系,沉积在CrW衬底上的CoCrPt合金薄膜微结构及磁性能,以及CoCr中间层的添加对CoCrPt合金薄膜生长出面内取向的()织构的影响及磁性能的影响.实验结果表明,CoCr中间层的引入对CoCrPt合金薄膜易磁化轴的面内取向起到了十分关键的作用.
关键词:CoCrPt薄膜; 织构; 磁性能;
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