各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面
来源期刊：材料科学与工程学报2007年第1期
论文作者：沈辉 刘正义 柳锡运 郭志球
关键词：各向同性腐蚀; 多晶硅; 酸性腐蚀;
摘 要：本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度.通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,适合工业生产的多晶硅绒面,绒面分布均匀.随着反应的进行,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果.
沈辉1，刘正义2，柳锡运2，郭志球2
(1.中山大学,物理科学与工程技术学院,广东,广州,510275;
2.华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640)
摘要:本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度.通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,适合工业生产的多晶硅绒面,绒面分布均匀.随着反应的进行,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果.
关键词:各向同性腐蚀; 多晶硅; 酸性腐蚀;
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