微梁谐振器中的空气阻尼

来源期刊：工程科学学报2007年第8期

论文作者：冯闯 赵亚溥 刘冬青

文章页码：841 - 844

关键词：微谐振梁;空气阻尼;谐振频率;品质因子;

摘    要：为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响,基于Euler-Bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论,建立了考虑气体阻尼的梁振动方程,结合边界条件对方程进行了求解,得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品质因子的影响.通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析,指出在梁形状保持不变（长宽比和高宽比不变）情况下,微梁谐振器存在一个临界压膜厚度,此临界厚度可为器件的设计提供参考.