退火温度对LaNiO₃薄膜组织结构及电阻率的影响

冯治棋¹，戴培华²，席博²

1. 兰州理工大学材料学院2. 兰州理工大学 甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室

摘 要：采用射频磁控溅射法在Si(111)上制备出LaNiO3薄膜,并通过XRD、SEM等进行表征。结果表眀,LaNiO3薄膜在未退火状态下出现一定的择优取向,在空气中随着退火温度的增加,结晶性更好,出现钙钛矿型结构;900℃退火时出现杂相,LaNiO3发生分解导致薄膜表面形貌发生巨大变化。电阻率与结构中的氧空位有密切联系,退火温度增加,氧空位减少,电阻率减小。在700℃退火时可以得到1.59Ω·cm的最小电阻率。

关键词：LaNiO3;薄膜;退火温度;显微组织;电阻率;