液相电沉积金刚石薄膜的研究进展
来源期刊：材料导报2004年第2期
论文作者：马志斌 万军
关键词：液相沉积; 金刚石; 碳膜; 脉冲电弧放电;
摘 要：评述了液相沉积(类)金刚石薄膜的研究现状,介绍了液相合成(类)金刚石薄膜的装置、液态源及薄膜的性能,分析了如何更好地提高(类)金刚石薄膜质量,并在此基础上提出了一种可能制备出高质量金刚石薄膜的脉冲电弧放电沉积装置.
马志斌1，万军1
(1.武汉化工学院材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073)
摘要:评述了液相沉积(类)金刚石薄膜的研究现状,介绍了液相合成(类)金刚石薄膜的装置、液态源及薄膜的性能,分析了如何更好地提高(类)金刚石薄膜质量,并在此基础上提出了一种可能制备出高质量金刚石薄膜的脉冲电弧放电沉积装置.
关键词:液相沉积; 金刚石; 碳膜; 脉冲电弧放电;
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