刻蚀时间对碳纳米管形貌的影响
来源期刊：材料开发与应用2013年第4期
论文作者：席彩萍
文章页码：75 - 78
关键词：碳纳米管;刻蚀时间;扫描电镜(SEM);
摘 要：采用等离子体增强化学气相沉积技术,以C2H2、H2和N2为反应气体,制备出碳纳米管薄膜。利用扫描电镜(SEM)和拉曼光谱仪对其进行表征,研究刻蚀时间对碳纳米管形貌的影响。结果表明:催化剂刻蚀时间对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,刻蚀时间为10 min时可获得定向性好、密度适中、杂质缺陷少的碳纳米管。
席彩萍
渭南师范学院物理与电气工程学院
摘 要：采用等离子体增强化学气相沉积技术,以C2H2、H2和N2为反应气体,制备出碳纳米管薄膜。利用扫描电镜(SEM)和拉曼光谱仪对其进行表征,研究刻蚀时间对碳纳米管形貌的影响。结果表明:催化剂刻蚀时间对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,刻蚀时间为10 min时可获得定向性好、密度适中、杂质缺陷少的碳纳米管。
关键词：碳纳米管;刻蚀时间;扫描电镜(SEM);
