TiN附着膜的应力-应变关系

嵇宁¹，陈昌荣²，马胜利³，覃明²，汪伟²，李家宝²

(1.LM3 ESA CNRS 8006, Ecole Nationale Supérieure D'Arts et Métiers, 151 Bd. de l'Hpital, 75013, Paris, France;
2.中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合;
3.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安 710049)

摘要:利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜．借助X射线应力分析技术和微拉伸设备，测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变，进而求其等效应力-等效单轴应变关系，并由此算得它的条件屈服点σ(0.1)和σ(0.2)分别为4.2和4.4 GPa，加工硬化指数为0.36．用纳米压痕仪测得其硬度为25 GPa，弹性模量为420 GPa．TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形．

关键词:TiN膜; 双轴应力; 应力-应变关系; X射线拉伸实验; 纳米压痕法;

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