不同腐蚀深度对多晶硅太阳能电池电性能的影响
来源期刊：材料导报2012年第S2期
论文作者：马继奎 刘莉丽 闫英丽 张东升 史金超
文章页码：203 - 205
关键词：多晶硅;酸溶液腐蚀;反射率;转换效率;
摘 要：研究了多晶硅片表面织构化对太阳能电池电性能的影响,通过调整工艺参数得到腐蚀深度分别为2.9μm、3.8μm、4.6μm的3批样品,采用扫描电子显微镜(SEM)和光谱响应系统表征了表面形貌和反射率,分析了腐蚀深度与后续各制程的关系。对比了绒面反射率及电性能参数,确定了最佳的腐蚀深度。
马继奎1，刘莉丽1，闫英丽1，张东升1，史金超1
1. 英利能源(中国)有限公司
摘 要：研究了多晶硅片表面织构化对太阳能电池电性能的影响,通过调整工艺参数得到腐蚀深度分别为2.9μm、3.8μm、4.6μm的3批样品,采用扫描电子显微镜(SEM)和光谱响应系统表征了表面形貌和反射率,分析了腐蚀深度与后续各制程的关系。对比了绒面反射率及电性能参数,确定了最佳的腐蚀深度。
关键词：多晶硅;酸溶液腐蚀;反射率;转换效率;
