图案化ZnO纳米线阵列制备与应用的研究进展
来源期刊：材料导报2013年第15期
论文作者：蒋雪梅 俎喜红 张政 黄海亮 易国斌
文章页码：125 - 131
关键词：ZnO纳米线;图案化技术;阵列;
摘 要：综述了多种图案化制备ZnO纳米线阵列的技术,包括电子束光刻技术、纳米球蚀刻技术、激光干涉光刻技术、纳米压印技术和嵌段共聚物蚀刻技术等。介绍了图案化ZnO纳米线阵列在传感器、太阳能电池和UV检测器等功能器件中的应用进展,分析了图案化ZnO纳米线阵列制备与应用中的优点、意义及存在的问题,并展望了其未来发展趋势。
蒋雪梅，俎喜红，张政，黄海亮，易国斌
广东工业大学轻工化工学院
摘 要：综述了多种图案化制备ZnO纳米线阵列的技术,包括电子束光刻技术、纳米球蚀刻技术、激光干涉光刻技术、纳米压印技术和嵌段共聚物蚀刻技术等。介绍了图案化ZnO纳米线阵列在传感器、太阳能电池和UV检测器等功能器件中的应用进展,分析了图案化ZnO纳米线阵列制备与应用中的优点、意义及存在的问题,并展望了其未来发展趋势。
关键词：ZnO纳米线;图案化技术;阵列;
