折射率可调SiO₂薄膜及耐环境性宽频增透膜的制备

来源期刊：功能材料2014年第22期

论文作者：张欣向 庄梦云 林明月 叶龙强 江波

文章页码：22143 - 22146

关键词：溶胶-凝胶法;增透膜;折射率;疏水性;耐环境性;

摘    要：通过溶胶-凝胶法制备了折射率连续可调的SiO2薄膜,并将其应用于制备双层宽频增透膜。以正硅酸乙酯为前驱体,分别以盐酸和氨水为催化剂制备酸催化SiO2溶胶和碱催化SiO2溶胶;将酸催化和碱催化的SiO2溶胶按不同比例进行混合制得酸碱混合SiO2溶胶,最后通过浸渍-提拉法在K9玻璃上制备SiO2薄膜。椭偏仪测试结果表明SiO2薄膜的折射率在1.18¹.44之间连续可调,折射率随着酸催化SiO2溶胶比例的增加而增加。分别以折射率为1.41和1.18的SiO2薄膜为底层和上层,成功制备出在527和1053nm处同时高增透的双层宽频增透膜。最后,以六甲基二硅氮烷为修饰剂,通过增透膜表面的有机修饰,提高了宽频增透膜的疏水性和耐环境性。