氧化锆基氧传感器对抽气(空气)系统的低真空测量
来源期刊：无机材料学报1999年第6期
论文作者：陈深 孙成文 杨芝洲
关键词：低真空测量; 氧化钇稳定氧化锆; 氧化锆氧传感器; 氧化锆氧浓差电池;
摘 要：应用Y2O3稳定ZrO2氧浓差电池, 在600～800℃测定了抽气(空气)系统(0.1～10-3MPa)中氧对大气氧的浓差电动势. 实验得出, 电池电动势E与被抽真空系统残余气压p的对数有线性关系: E=RT/4F ln(pair/p), 线性方程斜率和理论值RT/4F接近, 误差5%. 测量电动势灵敏度随压力降低而增加, 因此适宜用于低真空测量.
陈深1，孙成文1，杨芝洲1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050)
摘要:应用Y2O3稳定ZrO2氧浓差电池, 在600～800℃测定了抽气(空气)系统(0.1～10-3MPa)中氧对大气氧的浓差电动势. 实验得出, 电池电动势E与被抽真空系统残余气压p的对数有线性关系: E=RT/4F ln(pair/p), 线性方程斜率和理论值RT/4F接近, 误差5%. 测量电动势灵敏度随压力降低而增加, 因此适宜用于低真空测量.
关键词:低真空测量; 氧化钇稳定氧化锆; 氧化锆氧传感器; 氧化锆氧浓差电池;
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