Si基GaN上的欧姆接触
来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期
论文作者：席冬娟 江若琏 赵作明 沈波 陈鹏 郑有炓
关键词：Si基GaN; 欧姆接触; Al; Ti/Al/Pt/Au;
摘 要：研究了Si基GaN上的欧姆接触.对在不同的合金化条件下铝(Al)和钛铝铂金(Ti/Al/Pt/Au)接触在不同的合金化条件下的性质作了详尽的分析.Al/GaN在450℃氮气气氛退火3min取得最好的欧姆接触率7.5×10-3Ω.cm2,而Ti/Al/Pt/Au/GaN接触在650℃氮气气氛退火20s取得最好的欧姆接触8.4×10-5Ω.cm2,而且Ti/Al/Pt/Au/GaN接触有较好的热稳定性.
席冬娟1，江若琏1，赵作明1，沈波1，陈鹏1，郑有炓1
(1.南京大学物理系,南京,210093)
摘要:研究了Si基GaN上的欧姆接触.对在不同的合金化条件下铝(Al)和钛铝铂金(Ti/Al/Pt/Au)接触在不同的合金化条件下的性质作了详尽的分析.Al/GaN在450℃氮气气氛退火3min取得最好的欧姆接触率7.5×10-3Ω.cm2,而Ti/Al/Pt/Au/GaN接触在650℃氮气气氛退火20s取得最好的欧姆接触8.4×10-5Ω.cm2,而且Ti/Al/Pt/Au/GaN接触有较好的热稳定性.
关键词:Si基GaN; 欧姆接触; Al; Ti/Al/Pt/Au;
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