使用陶瓷的超精密加工机械
来源期刊：机械设计与制造1986年第2期
论文作者：于亚非
摘 要：<正> 在立柱等主要构件上,全部使用氧化铝陶瓷材料的超精密加工机械,已在日本开发了。(参见图1)它采用了平面缝隙节流式气体静压导执、无间隙的摩擦驱动式进给机构、可使刀具微量进给的电致伸缩元件,使之定位精度达±0.08μm,微世刀量达0.03μm。
于亚非
摘 要：<正> 在立柱等主要构件上,全部使用氧化铝陶瓷材料的超精密加工机械,已在日本开发了。(参见图1)它采用了平面缝隙节流式气体静压导执、无间隙的摩擦驱动式进给机构、可使刀具微量进给的电致伸缩元件,使之定位精度达±0.08μm,微世刀量达0.03μm。
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