电介质/金属/电介质结构透明导电薄膜的研究进展

来源期刊：功能材料2017年第1期

论文作者：廉吉庆 王丽军 王小平 陈海将 宋明丽 宁仁敏 柯小龙 安宁宁

文章页码：1056 - 1063

关键词：透明导电薄膜;D/M/D结构;金属膜厚度;退火温度;

摘    要：电介质/金属/电介质(D/M/D)结构透明导电薄膜是经过独特设计的一类性能优良的透明导电薄膜,经过多年研究,其各项性能指标得到了极大地提高,其应用范围也在不断拓展,目前已可应用于诸多领域。主要论述了D/M/D多层透明导电膜的研究现状,包括膜层设计原理、材料选择机制,并总结了金属层厚度、金属退火温度对膜系结构、光学、电学性质的影响机制。