晶体硅电池表面钝化的研究进展

来源期刊：材料科学与工程学报2015年第4期

论文作者：杜文龙 刘永生 司晓东 雷伟 徐娟 郭保智 林佳 彭麟

文章页码：613 - 618

关键词：太阳电池;表面钝化;转化效率;钝化膜;

摘    要：随着晶体硅太阳电池技术的不断发展,硅片的厚度不断降低,电池表面钝化对提高太阳能电池转化效率变得尤为重要。本文介绍了表面钝化膜在晶体硅太阳电池中的应用,以及几种晶体硅电池表面钝化方法,包括等离子体增强化学气相沉积法、氢化非晶硅、热氧化法、原子层沉积法以及叠层钝化,并分别介绍了它们在应用上的优缺点。分析了制备钝化膜过程中存在的问题,并提出了相应措施及发展趋势。表面钝化技术是提高晶体硅电池转换效率最有效的手段之一,今后晶体硅电池表面钝化技术仍将是国内和国际研究的热点之一。