半导体SnO2纳米晶态粉体显微结构对气敏传感器性能的影响
来源期刊：功能材料2000年第2期
论文作者：徐毓龙 徐爱兰 陈寿田 惠春
关键词：SnO2; 纳米晶态粉体; 气敏传感器;
摘 要：用XRD、SEM手段分析了共沉淀工艺和水热合成技术制备的半导体SnO2纳米晶态粉体及其厚膜陶瓷材料的显微结构,结果表明两种粉体的晶粒尺寸大约7nm,但两种粉体的XRD照片差异较大.用水热合成技术制备的粉体其颗粒是由纳米晶粒团聚而成,颗粒尺寸大约300nm左右,具有较大的表面活性,而用共沉淀工艺制备的粉体,颗粒分布较宽,活性差.两种粉体的显微结构对厚膜陶瓷材料显微结构的形成和SnO2厚膜气敏传感器选择性、灵敏度和稳定性有着显著的影响.
徐毓龙1，徐爱兰1，陈寿田2，惠春2
(1.西安电子科技大学技术物理系,陕西,西安,710071;
2.西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049)
摘要:用XRD、SEM手段分析了共沉淀工艺和水热合成技术制备的半导体SnO2纳米晶态粉体及其厚膜陶瓷材料的显微结构,结果表明两种粉体的晶粒尺寸大约7nm,但两种粉体的XRD照片差异较大.用水热合成技术制备的粉体其颗粒是由纳米晶粒团聚而成,颗粒尺寸大约300nm左右,具有较大的表面活性,而用共沉淀工艺制备的粉体,颗粒分布较宽,活性差.两种粉体的显微结构对厚膜陶瓷材料显微结构的形成和SnO2厚膜气敏传感器选择性、灵敏度和稳定性有着显著的影响.
关键词:SnO2; 纳米晶态粉体; 气敏传感器;
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