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改良西门子法多晶硅还原炉倒棒研究

来源期刊：世界有色金属2013年第S1期

论文作者：马卓煌宋东明李芳赵桂洁陈丽娟

文章页码：95 - 97

关键词：还原炉;硅芯;多晶硅;倒棒;

摘要：还原工序为多晶硅生产中直接出产品的一道工序,其主要设备还原炉内出现的倒棒现象不仅会对设备造成损害同时也对产品的产量及质量带来较大影响,严重的甚至会造成安全事故。本文通过对多晶硅生产中具体倒棒事故的分析,找出了引发倒棒事故的主要原因,并提出了相应的解决措施。

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马卓煌，宋东明，李芳，赵桂洁，陈丽娟

昆明冶研新材料股份有限公司

关键词：还原炉;硅芯;多晶硅;倒棒;