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Ti-O薄膜的溅射刻蚀微形貌表面对内皮细胞生长的影响

来源期刊:功能材料2004年增刊第1期

论文作者:王露 田仁来 黄楠 陈俊英 冷永祥

关键词:磁控溅射; 刻蚀; Ti-O薄膜; 表面形貌; 内皮细胞;

摘    要:利用磁控溅射合成具有一定特性的Ti-O薄膜,并采用Ar离子溅射刻蚀该薄膜表面.运用原子力显微镜(AFM),X射线衍射(XRD)对刻蚀后的薄膜表面微观形貌、微结构进行表征.结果表明:薄膜的结构未发生变化,表面的粗糙度减小.进一步的人脐静脉内皮细胞(HUVEC)种植实验表明:表面粗糙度的变化对内皮细胞的贴附、生长与增殖有很大的影响.

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Ti-O薄膜的溅射刻蚀微形貌表面对内皮细胞生长的影响

王露1,田仁来1,黄楠1,陈俊英1,冷永祥1

(1.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031)

摘要:利用磁控溅射合成具有一定特性的Ti-O薄膜,并采用Ar离子溅射刻蚀该薄膜表面.运用原子力显微镜(AFM),X射线衍射(XRD)对刻蚀后的薄膜表面微观形貌、微结构进行表征.结果表明:薄膜的结构未发生变化,表面的粗糙度减小.进一步的人脐静脉内皮细胞(HUVEC)种植实验表明:表面粗糙度的变化对内皮细胞的贴附、生长与增殖有很大的影响.

关键词:磁控溅射; 刻蚀; Ti-O薄膜; 表面形貌; 内皮细胞;

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