大面积CdTe多晶薄膜的制备及其性能
来源期刊：功能材料与器件学报2007年第1期
论文作者：蔡伟 张静全 郑家贵 冯良桓 夏庚培 武莉莉 蒋显辉 黎兵 李卫 雷智
关键词：CdTe薄膜; 近空间升华法; 大面积;
摘 要：通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300 mm×400 mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1 μm左右.用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好.
蔡伟1，张静全1，郑家贵1，冯良桓1，夏庚培1，武莉莉1，蒋显辉1，黎兵1，李卫1，雷智1
(1.四川大学材料科学与工程学院,成都,610064)
摘要:通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300 mm×400 mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1 μm左右.用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好.
关键词:CdTe薄膜; 近空间升华法; 大面积;
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