工艺参数对VO2薄膜质量的影响研究
来源期刊：云南冶金2006年第6期
论文作者：乔威 赵昆渝 李智东 孟召标
文章页码：44 - 49
关键词：无机sol-gel法;VO2薄膜;相变性质;
摘 要：以V2O4粉末为原料,采用无机sol-gel法在非晶玻璃上制备了V2O5干凝胶膜。后通过两步热处理工艺法成功制备出了具有良好相变性质的VO2薄膜。并对其相成分、退火时间、温度、膜厚、电学性能等进行了分析,比较了各工艺参数对VO2薄膜性能的影响。
乔威，赵昆渝，李智东，孟召标
摘 要：以V2O4粉末为原料,采用无机sol-gel法在非晶玻璃上制备了V2O5干凝胶膜。后通过两步热处理工艺法成功制备出了具有良好相变性质的VO2薄膜。并对其相成分、退火时间、温度、膜厚、电学性能等进行了分析,比较了各工艺参数对VO2薄膜性能的影响。
关键词：无机sol-gel法;VO2薄膜;相变性质;
