高支化碱溶性感光聚酯的光成像性能

李琳¹，郭祀远¹，赵凌²，冯宗财¹，陈毅敏²，王跃川²

(1.华南理工大学轻化工研究所,广东,广州,510641;
2.四川大学,高分子材料科学与工程系,高分子材料工程国家重点实验室,四川,成都,610065)

摘要:研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能.研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大,图像越清晰,显影时间越短,并具有更良好的图像断面;平行光曝光图像清晰度和断面情况均比点光源好;在合适的成像显影条件下,经UV白光接触曝光高支化感光聚合物抗蚀剂图像分辨率可达到约1μm.

关键词:高支化; 感光聚酯; 光致抗蚀剂; 光成像;

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