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实验参数对金刚石薄膜内应力的影响研究

来源期刊：硬质合金2008年第4期

论文作者：袁红梅

关键词：金刚石薄膜; 硬质合金; 化学气相沉积法; 涂层; 工艺参数;

摘要：采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上制备金刚石薄膜涂层,采用SEM观察金剐石薄膜形貌,采用Raman光谱法分析制备的金刚石薄膜与基体的内应力.变化丝基间距、偏流、碳浓度等参数,通过测定拉曼光谱单一谱峰的位移△ω计算涂层的内应力,从而得到制备内应力较小的金刚石膜的工艺参数范围.

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袁红梅¹

(1.株洲硬质合金集团有限公司,湖南株洲,412000)

摘要:采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上制备金刚石薄膜涂层,采用SEM观察金剐石薄膜形貌,采用Raman光谱法分析制备的金刚石薄膜与基体的内应力.变化丝基间距、偏流、碳浓度等参数,通过测定拉曼光谱单一谱峰的位移△ω计算涂层的内应力,从而得到制备内应力较小的金刚石膜的工艺参数范围.

关键词:金刚石薄膜; 硬质合金; 化学气相沉积法; 涂层; 工艺参数;

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