扫描电镜中颗粒能谱定量分析的质量效应

来源期刊：理化检验物理分册2012年第6期

论文作者：杜婷 周振新 李丽敏 张正极

文章页码：365 - 787

关键词：扫描电镜;能谱仪;颗粒分析;质量效应;临界尺寸;

摘    要：利用扫描电镜和能谱仪对精密合金中第二相颗粒的表面形貌和化学成分进行了分析,研究了颗粒能谱定量分析的质量效应。结果表明:颗粒能谱定量分析时有明显的质量效应;颗粒与基体的成分差异越大,质量效应越明显,加速电压对质量效应也有影响;颗粒能谱定量分析中存在一个临界尺寸,当颗粒尺寸大于临界尺寸时,质量效应消失;由于样品抛光表面上颗粒的二维表观尺寸与实际的三维尺寸不尽相同,使得质量效应的表观临界尺寸有别于理论临界尺寸,但颗粒能谱定量分析质量效应的变化趋势和统计规律是十分明显的。