TiO₂薄膜型气敏传感器研究进展

来源期刊：材料工程2020年第10期

论文作者：金嘉炜 李国臣 张冶 李公义 楚增勇

文章页码：28 - 38

关键词：TiO₂;纳米薄膜型;气敏传感器;传感性能;传感机理;

摘    要：TiO₂纳米薄膜型气敏传感器具有制备方法简单、灵敏度高、一致性好、小型化等优点,且由于TiO₂半导体的宽能带使其能够通过涂覆修饰其他元素使传感器性能得到大幅度提高,如今已经越来越受到研究者们的广泛关注。本文综述了当前国内外TiO₂气敏传感器的研究进展,重点介绍了TiO₂薄膜型气敏传感器在H₂,NH₃,H₂S,VOC,CO,SO₂六种常见还原性气体和CO₂,NO_x两种常见氧化性气体检测方面的应用,就其传感性能、传感机理进行了讨论,并展望了TiO₂薄膜型气敏传感器研究的未来发展趋势,如通过向TiO₂中掺杂导电微粒、贵金属或金属氧化物等以改良其性能,以期为新型气敏传感器的研究提供参考。