退火和氧化性酸处理对HFCVD法制备金刚石薄膜质量的影响

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2013年第4期

论文作者：翟豪 龙芬 余志明 王健

文章页码：539 - 545

关键词：钼;氢气气氛退火;氧化性酸处理;化学气相沉积;

摘    要：以H2和CH4为反应气源,采用热丝化学气相沉积法（hot filament chemical vapor deposition,缩写HFCVD）,于不同温度下,在金属Mo表面上制备金刚石薄膜,并分别对薄膜进行退火和氧化性酸处理。采用场发射扫描电镜（FESEM）、拉曼光谱（Raman）及物相分析（XRD）,研究沉积温度与后处理工艺对薄膜质量和薄膜表面内应力的影响。结果表明,在700℃下沉积的薄膜晶型良好,晶粒尺寸大且均匀,平均粒径为0.5μm,薄膜中存在2.72 GPa的压应力;该薄膜在氢气气氛中退火后质量得到提升,金刚石的Raman特征峰强与石墨的Raman特征峰强的比值从2.780 0上升至4.451 6,薄膜中无定型碳和石墨成分的总含量（质量分数）下降37.6%;采用过氧化氢氧化处理后,薄膜中无定型碳和石墨的总含量（质量分数）下降26.8%,薄膜中69.0%⁷3.0%（质量分数）的trans-PA被氧化处理掉,热应力得到释放。