太阳能级多晶硅片表面制绒的研究

来源期刊：材料导报2013年第6期

论文作者：管世兵 殷伟琦 严俊 顾顺超

文章页码：37 - 87

关键词：多晶硅;酸腐蚀时间;氟硅酸;制绒效果;反射率;

摘    要：主要研究多晶硅太阳能电池片工业制绒的酸腐蚀过程,腐蚀液是由HNO3、HF和H2SiF6组成的混合液,未添加其他试剂作为反应缓释剂;采用SEM和紫外分光光度计对多晶硅片表面制绒形貌进行观察和检测分析。实验过程中,按照工业生产的实际模型,首先研究确定了最佳腐蚀时间为2min,之后主要研究了酸腐蚀过程中的H2SiF6浓度对多晶硅表面制绒效果的影响,优化得到H2SiF6的最低含量为2%,并确定最佳腐蚀工艺条件,为进一步回收利用腐蚀废液提供依据。