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柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究 舒远杰1,孙裔2,杨盟2,刁训刚2,武哲2 (1.中国工程物理研究院,化工材料研究所,四川,绵阳,621900;2.北京航空航天大学,北京,100083) 摘要:利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,采用X射线衍射,紫外-可见分光光度计,四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了氧含量,薄膜厚度,衬底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响,优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件.制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%,方块电阻为6Ω/□. 关键词:直流磁控溅射; 柔性衬底; ITO透明导电薄膜; [全文内容正在添加中] ......
氢气退火对ITO纳米颗粒能带结构的影响郭德双1,2,王登魁1,王新伟1,2,孟兵恒1,方铉1,房丹1,魏志鹏11. 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室2. 长春理工大学材料科学与工程学院摘 要:采用共沉淀法合成了高质量的ITO纳米颗粒,研究了H2退火对ITO结构及能带的影响.通过扫描电子显微镜对ITO颗粒的形貌进行分析,发现其颗粒尺寸均匀;采用傅里叶变换红外光谱分析退火前后ITO中化学键的类型,发现退火之后In-O键的振动峰减弱,这是ITO颗粒表面氧溢出并形成In-Sn合金所致;同时X射线衍射曲线在退火前后并未发生变化,表明ITO纳米颗粒主体的晶体结构并没有发生改变;通过H2气氛下退火后样品的吸收光谱可以看出,随着退火温度的升高,ITO的带隙逐渐增大,这是由表面的In-Sn合金所引起的......
J. Cent. South Univ. (2012) 19: 835-841 DOI: 10.1007/s11771-012-1080-8 Utilization of municipal solid waste incineration fly ash in lightweight aggregates TAN Wen-fa(谭文发)1,WANG Li-ao(王里奥)1... of municipal solid waste incineration (MSWI) fly ash blended with shale and sludge was utilized in the manufacture of light-weight aggregates and processed to form ceramic pellets. A formula uniform......
不同烧结温度下ITO靶材的金相组织分析张元松,樊繁,林光飞摘 要:分析了不同烧结温度下ITO靶材的金相组织.结果表明:当烧结温度为1 500℃,靶材金相组织呈现烧结中期典型烧结颈组织;当烧结温度为1 530℃时,靶材组织是烧结中期与烧结后期过渡阶段的组织,晶界还未稳定,致密性差;当烧结温度为1 560℃和1 590℃时,靶材的组织稳定,致密性高,但是1 590℃烧结靶材晶粒偏大,晶界稳定性稍差;当烧结温度为1 620℃和1 650℃时,组织的晶界开始熔解,而且晶粒变得圆滑,尤其是在1 650℃烧结后,组织中晶粒是游离的近球形.通过SEM分析,验证了金相组织分析正确性,而且快捷,简便.关键词:ITO靶材;烧结温度;金相组织;......
气化粉与湿法粉制备ITO靶材过程及性能对比研究杨硕,刘冠鹏,赵延飞,段海洋,张伟明中国船舶重工集团公司第七二五研究所摘 要:分别以ITO气化粉和湿法粉为原料,在相同工艺条件下,经过球磨,造粒,成型等工序制备了ITO靶材,研究了ITO气化粉和湿法粉制靶中间品及最终靶材的主要性能.结果表明:模压和CIP后,湿法粉坯体密度均低于气化粉的,但由于ITO湿法粉原料粒径细而均匀,烧结活性更高,故在较低的烧结条件下可制备出更高密度的靶材.关键词:ITO气化粉;ITO湿法粉;ITO靶材;......
分散剂对ITO前驱物浆料稳定性的影响 张楠1,刘家祥1,吴妲1 (1.北京化工大学,化工资源有效利用国家重点实验室,北京,100029) 摘要:以金属铟和结晶四氯化锡为原料,通过加入各种添加剂制备了稳定的ITO前驱物浆料.利用沉降实验,Zeta电位,透射电镜研究了分散剂对浆料稳定性的影响.通过考察不同pH值条件下,分散剂的种类及用量对ITO浆料稳定性的作用,探究其分散机理.结果表明,在ITO前驱物浆料中加入离子型分散剂乙醇胺,通过乙酸调节pH值,可使颗粒间具有较高静电效应,在此基础上加入高分子表面活性剂(PEG,PVP),使得颗粒间又具有空间位阻效应.从而防止了颗粒间的团聚,可得到高度分散的浆料.前驱物浆料颗粒粒度主要分布在10~20 nm之间.结果表明,最优的分散剂用量为:PEG 10%(质量分数,下同),PVP 10%和乙醇胺2.5%. 关键词:ITO前驱物浆料; 分散剂......
氨气和氮气气氛下热处理对ITO薄膜光电性能的影响 刘海鹰1,杨盟1,刁训刚1,王天民1 (1.北京航空航天大学,北京,100083) 摘要:利用射频磁控溅射在室温玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,并分别在氨气,氮气和空气气氛下对薄膜进行了热处理.利用X射线衍射,霍尔效应,UV-VIS-NIR分光光度计等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了不同热处理气氛及温度对ITO薄膜光电特性的影响.结果发现在不同气氛下热处理均能明显提高ITO薄膜在可见光区的透过率,氨气气氛下更有利于薄膜导电特性的改善. 关键词:射频磁控溅射; 氨气和氮气气氛; 热处理; ITO薄膜; [全文内容正在添加中] ......
is the target segregation status. Key words: sinter circular cooler; waste heat utilization; numerical simulation; segregation feeding 烧结工序能耗在钢铁企业中是仅次于炼铁的第二大耗能工序,环式冷却机(环冷机)由于具有连续作业性好,效率高等特点被广泛应用于烧结矿冷却过程,而... and Energy Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China) Abstract: To improve waste heat utilization of circular cooler, the optimization research of loading process......
喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究李晶1,2,赵晓东2,李芝华2,任冬燕21. 西南科技大学材料科学与工程学院2. 中南大学材料科学与工程学院摘 要:以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末,素坯及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析.实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高.关键词:ITO靶材;喷雾干燥;冷等静压;烧结;......
压力注浆成型大规格ITO靶材坯体研究杨硕,朱玉龙,张大帅中国船舶重工集团公司第七二五研究所摘 要:以ITO粉体为原料,使用压力注浆成型技术制备了ITO靶材坯体.研究了浆料粘度,固含量,加压时间,真空处理等因素对ITO靶材坯体结构的影响.结果表明,使用3步加压时,通过变单孔注浆模具为双孔模具,可显著提高注浆效率,同时解决坯体空心的问题;适当延长中压保压时间和提高浆料固含量可使大规格坯体密度得到不同程度的提高;所得高密度坯体在1 590℃烧结,可制备出相对密度达99.87%的较大规格ITO靶材.关键词:ITO粉;压力注浆;ITO靶材坯体;......
