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采用微正压CVD法制备块体各向同性热解炭 李建青1,满瑞林1,谢志勇2,谭瑞轩2,黄启忠2 (1. 中南大学 化学化工学院,湖南 长沙,410083； 2. 中南大学 粉末冶金国家重点实验室,湖南 长沙,410083) 摘要:以丙烯作为碳源气体,氮气和氢气作为载气和稀释气体,采用自行设计的化学气相沉积(CVD)炉,设计特殊的发热体,利用微正压化学气相沉积法制备块体各向同性热解炭材料.对制...炭组成,结构致密,孔隙较少,分布均匀,热解炭颗粒之间产生融并现象. 关键词:CVD；各向同性炭；沉积机理 中图分类号:TB332 文献标志码:A 文章编号:1672-7207......
反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究进展蒋芳1,2,杨勇1,黄政仁11. 中国科学院 上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程研究中心2. 中国科学院研究生院摘 要:综述了反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究现状,重点介绍了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)制备SiC涂层和硅涂层的优缺点及制备机理,并讨论了SiC陶瓷光学部件表面改性今后的发展方向.关键词:SiC;表面改性;反射镜;......
影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题孙振路,张平伟,吴晓波,胡红彦,刘秀军摘 要:直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用.文章通过研究金刚石膜的质量,衬底与膜的结合力,以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素.关键词:CVD金刚石膜;完整性;膨胀系数;......
CVD纳米金刚石涂层工具研究进展刘书军1,邓福铭1,赵晓凯1,陆绍悌1,卢学军21. 中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所2. 北京迪蒙特佳工模具技术有限公司摘 要:概述了CVD纳米金刚石涂层工具的研究开发现状,存在的主要问题,重点介绍了硬质合金基体表面预处理方法及纳米金刚石生长工艺参数对CVD纳米金刚石涂层工具结构和性能的影响.其中,介绍了硬质合金基体表面预处理方法主要有酸液浸蚀去钴,施加中间过渡层,机械或等离子体处理,负偏压等;纳米金刚石生长工艺参数则主要从碳源浓度,基体温度,反应气压三方面进行了介绍;最后,对CVD纳米金刚石涂层工具发展趋势和应用前景作出了展望.关键词:化学气相沉积(CVD);纳米金刚石涂层;硬质合金;预处理;......
炭纤维硝酸氧化及对热解炭微观结构的影响 陈洁,于澍,熊翔 (中南大学 粉末冶金国家重点实验室,湖南 长沙,410083) 摘要:在CVD增密前对预制体炭纤维进行表面硝酸氧化处理,研究不同浓度硝酸,不同氧化处理时间对炭纤维表面结构状态的影响,以及最终对CVD热解炭微观结构的作用及机理.研究结果表明:对炭纤维表面用质量分数为66%浓硝酸处理时,炭纤维表面形成沿纤维轴向的沟槽；随着处理时间的延长,沟槽先加深后减弱,经40 min处理后炭纤维表面刻蚀沟槽最均匀；预制体经不同硝酸质量分数(66%,33%和22%)处理40 min后进行CVD沉积得到C/C复合材料,其中经33%硝酸处理的样品中所沉积的热解炭微观有序度最高,且近炭纤维表面处热解炭有序度最高,由内至外有序度逐渐降低；在优化处理条件下,纤维表面氧化刻蚀均匀,表面所形成的含氧官能团(羰基和羧基)有效诱导了CVD过程中热解炭在纤维表面的有序沉......
CVD金刚石涂层硬质合金刀具研究进展尹超1,2,3,毛善文1,21. 硬质合金国家重点实验室2. 株洲硬质合金集团有限公司3. 中南大学粉末冶金国家重点实验室摘 要:CVD金刚石涂层硬质合金刀具结合了金刚石和硬质合金的优异性能,是切削加工的理想材料,具有广阔的发展前景.当前限制CVD金刚石涂层刀具应用的主要问题是金刚石涂层与刀具基体之间的附着性能较差,其主要原因是粘接相Co对CVD沉积存在不利影响以及涂层与基体之间热膨胀系数存在较大差异.本文综述了提高界面结合强度和降低涂层表面粗糙度的方法,重点介绍了在界面添加过渡层来提高界面结合强度,并指出在硬质合金基体和CVD涂层之间添加过渡层和开发纳米CVD涂层是CVD金刚石涂层刀具今后的发展方向.关键词:化学气相沉积(CVD);金刚石涂层;硬质合......
CVD金刚石膜的机械抛光加工研究 匡同春1,白晓军1,郭钟宁1,王成勇1,余忠民2 (1.广东工业大学,广州 510090;2.广东省机械研究所,广州,510630) 摘要:在简要综述CVD金刚石膜光整加工方法的基础上,在自动抛磨机上对CVD金刚石厚膜进行了初步的机械抛光工艺研究,借助扫描电子显微镜(SEM)对抛光前后及抛光过程中CVD金刚石膜的表面形貌变化进行了观察,初步讨论了CVD金刚石的去除过程. 关键词:CVD金刚石膜; 机械抛光; 表面形貌; chemically vapor deposited diamond film; mechanical polishing; surface morphology; [全文内容正在添加中] ......
温度对CVD法在纤维表面制备BN涂层的影响马良来1,2,3,高乐1,3,胡建宝1,3,乔振杰1,2,3,董绍明1,31. 中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷与复合材料工程研究中心2. 中国科学院大学3. 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室摘 要:采用BCl3-NH3-H2体系,在不同温度下通过化学气相沉积法在SiC纤维表面沉积BN涂层.研究温度对BN涂层的沉积速率,形貌,组成以及结构的影响.结果表明:在低温阶段(700900℃),生长速率随着温度的增加而增大,该结果与阿仑尼乌斯定律相一致,计算得出该反应表观活化能为57.2kJ/mol.涂层表面光滑致密,沉积均匀,沉积速率受表面反应控制.在900℃时,反应速率达到最大值(174nm/h),此时,反应速率由表面反应控制转变为物质......
CVD金刚石的高温氧化及其保护 李阳平1,巨志高1,刘正堂1 (1.西北工业大学材料学院,西安,710072) 摘要:化学气相沉积(CVD)金刚石具有优异的机械,光学和热学性能,成为高速长波红外窗口的首选材料,但是当高速飞行时,由于空气动力加热会产生很高的温度而使其迅速遭受氧化,甚至完全失效.简要概述了CVD金刚石高温氧化现象及机理,抗氧化保护的最新研究进展. 关键词:CVD金刚石; 红外窗口; 抗氧化保护; [全文内容正在添加中] ......
一种专门用于刀具的热丝CVD金刚石杨成武,刘晓,李卫摘 要:介绍了CVD金刚石厚膜的不同生长工艺的优缺点,并采用新型热丝CVD工艺生长出金刚石.新工艺生长出的热丝CVD金刚石具有成核密度高,晶粒细小,组织致密,孔洞缺陷和杂质少等优点,是CVD金刚石刀具的理想材料.关键词:CVD金刚石厚膜;孔洞缺陷;金刚石刀具;......
