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乙醇钽化学气相沉积制备Ta2O5薄膜研究进展 刘银元1,唐谟堂1,邱冠周1,杨声海1 (1.中南大学,湖南长沙,410083) 摘要:Ta2O5薄膜层具有较高的介电常数,折射率以及和ULSI加工过程中的相容性,因而将在硅芯片栅层材料,动态随机存储器,减反膜,气敏传感器,太阳能光伏电池面板介电层等方面得到应用.对以Ta(OC2H5)5为原料,通过常规金属有机化合物气相沉积,光致化学气相沉积,等离子增强化学气相沉积,原子层化学气相沉积和脉冲化学气相沉积法制各Ta2O5薄膜进行了评述,并对这些方法存在的问题进行了分析. 关键词:乙醇钽; 氧化钽薄膜; 化学气相沉积; [全文内容正在添加中] ......
.一般来说,由于CoO的激活能高于Co3O4的激活能,高温下优先氧化成钴铝的复杂氧化物,只有少部分以CoO和Co3O4形式存在[24].但0Ta合金氧化膜中含有一定量的CoO和Co3O4.含钽合金氧化膜最外层仍以CoO和Co3O4为主,并含有少量CoO/Al2O3和CoWO4的复杂氧化物.根据多元合金选择性氧化的规律及合金元素与氧亲和力的大小,只有当合金中产生偏析或局部氧过剩时才会发生W和Ta元素的...氧化物的最外层,基体和表面层不连续的浅色中间层和与基体相邻的氧化膜内层.在整个氧化膜中,钨和钽元素的分布规律基本相同.氧化膜最外层主要以钴的氧化物为主(CoO和Co3O4),但存在明显的孔洞缺陷,这是由于热胀冷缩过程中氧化膜变形所致.中间层较薄,主要由Al,W和Ta元素的复杂氧化物组成,Al元素在基体和氧化膜上分布不均匀,越靠近基体,Al元素含量越高,氧化膜中对应的其他元素含量越低.当W和Ta元素......
华南地区Nb,Ta稀有金属矿床演化过程浅析刘皓1,王婵1,缪秉魁2,邓江红11. 成都理工大学地球科学学院2. 桂林理工大学地球科学学院摘 要:<正>华南地区是中国重要的矿产富集区域,在区域内部发展了一套较为完整的从前震旦纪到中,新生代地层,区内受到强烈的构造活动以及岩浆活动的频繁影响,在大地构造上出现了多旋回的特征,由于这些特殊的构造和岩浆活动,使得区内的成矿作用也同样存在着多旋回的特性,本区的钨矿探明储量占全国的75%,相当于国外全部钨矿探明储量的3.6倍,锡矿占全国的55%,钽矿占全国的90%.通过研究可以发现本区的W,Sn,Ta,Nb的矿化不仅仅存在于一个区域内,时常会发生在一个矿田中甚至是一个矿床内同关键词:......
ICP-AES法同时测定钛合金中钽,铌,钨元素含量刘婷,黄永红,白焕焕宝钛集团有限公司摘 要:介绍了采用ICP-AES法同时测定钛合金中Ta,Nb,W元素含量的方法.首先确定了仪器部分工作参数的最佳值,其中激发功率1 300 W,雾化器流量0.7 L·min-1,积分次数2次.然后通过对基体,合金元素以及测定元素光谱间的干扰分析研究,确定了Ta,Nb,W元素最佳分析谱线的位置,依次为240.063,269.706,207.912 nm.此外,采用内标法对Nb质量分数大于3%的样品的测试结果进行了校正.试样加标回收试验及精密度试验表明采用上述方法可使回收率在99%102%之间,相对标准偏差小于2.3%,能够满足日常生产的检测要求.关键词:ICP-AES法;钛合金;钽;铌;钨;......
电感耦合等离子体质谱法测定地球化学样品中铌钽钨锡郭晓瑞1,2,3,王甜甜1,2,3,张宏丽1,2,3,孙启亮1,2,3,倪文山1,2,31. 中国地质科学院郑州矿产综合利用研究所2. 国家非金属矿资源综合利用工程技术研究中心摘 要:采用HCl-HNO3-HF-HClO4溶解地球化学样品,以50mg/L酒石酸-1%HCl为测定介质克服了铌,钽,钨,锡易水解的特性,选择93 Nb,181 Ta,182 W,118Sn为分析同位素及50ng/mL185 Re为内标,建立了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)同时测定地球化学样品中微量铌,钽,钨,锡的新方法.在选定的实验条件下,铌,钽,钨,锡质谱强度与其质量浓度在0.01~100ng/mL范围内呈良好的线性关系,相关系数在0.999 6~0.999 8之间......
钽在高新技术中的应用刘世友摘 要:叙述了钽及其合金的特性,袒的矿藏资源符况．评述了钽及其合金和化合物在硬质合金,化工点空航天,电子,汽车,超合金,穿甲弹和医疗卫生等领域的应用和发展前景.关键词:钽及钽合金;硬质合金;化工;钽电容器;......
中国低活化马氏体(CLAM)钢中富钽析出相的定性分析施兴建,周晓苓,黄希,沈寅忠上海交通大学机械与动力工程学院摘 要:作为国际热核聚变实验堆包层的候选结构材料,CLAM钢具有优良的低活化,抗辐照肿胀及密度,比热,热导率,电阻率等物理性能.Ta是一种强碳化物形成元素,在钢中会形成Ta或富Ta的碳化物析出相.本文利用透射电子显微镜和能量色散谱仪对经980℃/30min正火和760℃/1h回火的中国低活化马氏体(CLAM)钢中的富钽析出相进行了定性分析.结果表明,在正火回火态的CLAM钢中存在以下两种富钽析出相:第一种为具有面心立方结构的富Ta的MC碳化物,尺寸较小,被认为有助于提高钢的高温蠕变性能;第二类为具有底心单斜结构的富Ta,Cr的M3(C,N)2碳氮化物,为首次在CLAM钢中发现,还需对这类析出相......
含钽合金渣中钽的回收张卜升1,陈姝晖3,马光11. 西北有色金属研究院电子所3. 中联西北工程设计研究院摘 要:以高温合金返回料含钽渣为原料,采用酸浸-萃取-除杂-反萃-沉淀等工艺回收其中的钽.结果表明,该工艺能有效回收合金渣中的钽,所得氢氧化钽沉淀物纯度达99%以上,钽回收率超过90%.关键词:高温合金;回收;钽;......
流动注射离子交换-分光光度法测定石煤渣中痕量钽 宁立波1,罗道成2 (1.中国地质大学环境学院,湖北,武汉,430074;2.湖南科技大学化学化工学院,湖南,湘潭,411201) 摘要:研究了采用流动注射技术进行痕量钽的离子交换分离富集,在0.50 mol/L HCl介质中,Ta(V)与Cl-形成络阴离子,被DT-1016阴离子交换树脂交换富集,用0.25 mol/L HCl-0.5 mol/L硫脲溶液洗脱,用氯磺酚S分光光度法测定.有色络合物的最大吸收波长为570nm,钽的质量浓度在1.1~600μg/L范围内符合比尔定律.经分离后,钽的测定灵敏度可提高数倍,大量共存离子不干扰测定.该法已应用于石煤渣中痕量钽的测定. 关键词:流动注射; 离子交换分离富集; 分光光度法; 氯磺酚S; 钽; 石煤渣; [全文内容正在添加中] ......
硫酸镁沉淀分离-硫氰酸盐萃取光度法测定铌钽中的微量钨吴辛友北京有色金属研究总院 北京 100088摘 要:本文提出用硫酸镁沉淀分离-硫氰酸盐萃取光度法测定铌钽中的微量钨,避免使用异臭的二硫酚试剂.改进了传统的硫氰酸盐的熔样方法,选用适宜的混合萃取剂,有效地消除了Nb,Ta,Mo等元素的影响,提高了方法的灵敏度,获得比较满意的效果.钨的测定下限为8×10-4%,标准加料回收率为97~105%,变异系数为3.12~6.37%.关键词:硫酸镁沉淀分离;硫氰酸盐萃取光度法;铌钽;微量钨;......
