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脉冲偏压电弧离子低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能 孙超1,林国强2,董闯2,黄美东1,闻立时1 (1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016;2.大连理工大学三束实验室,大连,116024) 摘要:利用直流和脉冲偏压电弧离子镀技术沉积TiN硬质薄膜,研究了不同偏压下基体的沉积温度,薄膜的表面形貌及力学性能.结果表明,与直流偏压相比,脉冲偏压可以明显降低基体的沉积温度,大大减少薄膜表面的大颗粒污染,改善表面形貌,而薄膜的综合力学性能仍保持良好,说明利用脉冲偏压技术是实现电弧离子镀低温沉积的有效途径. 关键词:电弧离子镀; 低温沉积; 脉冲偏压; TiN薄膜; [全文内容正在添加中] ......
脉冲负偏压幅值对复合离子镀制备TiCN薄膜结构和性能的影响任鑫1,赵瑞山1,黄美东2,张翀翊1,王乾宝31. 辽宁工程技术大学材料科学与工程学院2. 天津师范大学物理与材料科学学院3. 辽宁工程技术大学机械工程学院摘 要:采用复合离子镀技术,在不同脉冲负偏压幅值下于304不锈钢表面制备TiCN薄膜,研究了负偏压幅值对薄膜成分,结构,表面粗糙度,显微硬度及摩擦磨损性能的影响.结果表明:随着负偏压幅值升高,钛,碳与氮元素的原子比以及碳与钛元素的原子比先增大后减小,薄膜表面的颗粒及针孔,凹坑等缺陷尺寸减小,数量减少,表面形貌得到改善;薄膜主要由TiCN相组成,随着负偏压幅值增大出现(111)晶面择优取向,且薄膜的显微硬度先增大后减小,并在负偏压幅值为300V时达到最大,为2 690HV;薄膜的摩擦磨损性能优......
筐家Ⅰ号隧道洞口偏压段处理技术 孙狂飙1,邓文龙2 (1.安徽省高速公路总公司,安徽,合肥,230051;2.安徽省公路勘测设计院,安徽,合肥,230041) 摘要:筐家Ⅰ号隧道是六安至岳西(黄尾)高速公路霍山县境内的一座左,右分离式单向行车隧道,从设计,施工方面对隧道洞口段Ⅴ级围岩偏压复合式衬砌,明洞暗进,半明半暗等方案的应用进行了探讨,重点讨论了隧道明洞暗进,半明半暗方案穿越洞口浅埋偏压段的工程经验,为类似隧道的建设提供技术参考. 关键词:隧道; 浅埋偏压; 明洞暗进; 半明半暗; [全文内容正在添加中] ......
偏压基坑工程设计,施工与受力变形特性研究进展刘波1,2,章定文1,2,席培胜31. 东南大学交通学院2. 东南大学江苏省城市地下工程与环境安全重点实验室3. 安徽建筑大学建筑健康监测与灾害预防技术国家地方联合工程实验室摘 要:在调研国内外偏压基坑工程理论与实践研究成果的基础上,分别从偏压基坑的形成原因,设计计算方法,施工安全控制技术,围护结构受力变形特性以及施工环境效应等方面对偏压基坑工程的研究现状进行总结.通过与非偏压基坑的特性进行对比分析,给出了两者之间的差异.结果表明,偏压基坑两侧围护结构的受力变形存在明显的不对称性,偏压侧受力变形大于非偏压侧,当偏压荷载达到一定值时,基坑围护结构可能发生向非偏压侧的整体偏移;传统的基坑设计计算方法未能考虑偏压基坑两侧围护结构变形的差异以及变形控制标准的不同,其......
直流负偏压对类金刚石薄膜结构和性能的影响 刘惠文1,徐洮1,陈建敏1,周惠娣1,李红轩1 (1.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000) 摘要:利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜,Raman光谱,X射线光电子能谱,红外光谱,表面轮廓仪和纳米压痕仪考察了直流负偏压对类金刚石薄膜表面形貌,微观结构,沉积速率和硬度等性能的影响.结果表明:无直流负偏压条件下,薄膜呈现有机类聚合结构,具有较低的SP3含量和硬度;叠加上直流负偏压后,薄膜具有典型的类金刚石结构特征,SP3含量和硬度得到了显著的提高;但随着直流负偏压的升高,薄膜的沉积速率和H含量逐渐降低,而SP3含量和硬度在直流负偏压为200V时出现最大值,此后逐渐降低. 关键词:直流负偏压; 类金刚石薄膜; 结构; 性能; [全文内容正在添加......
偏压对阴极电弧离子镀AIN薄膜的影响 黄荣芳1,孙超1,董闯2,黄美东2,闻立时1,宫骏1,卢春燕1 (1.中国科学院金属研究所;2.大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室) 摘要:在不同基体负偏压作用下,用阴极电弧离子镀等离子体物理气相沉积(PVD)方法在单晶Si(100)基片上获得六方晶系的晶态AlN薄膜用X射线衍射仪分析了沉积膜的物相组成和晶格位向随偏压的变化,在扫描电子显微镜(SEM)下观察沉积膜的显微组织形貌.结果表明,在较小偏压下,AlN膜呈(002)择优取向,表面致密均匀;在较大偏压下,AlN膜呈(100)择优取向,表面形貌则粗糙不平.AlN薄膜的择优取向及表面形貌受到不同偏压下不同离子轰击能量的影响. 关键词:偏压; 阴极电弧离子镀; 物理气相沉积; AlN薄膜; [全文内容正在添加中] ......
软弱围岩中大跨度浅埋偏压小间距隧道开挖的数值模拟傅鹤林1,张聚文1,黄陵武1,谢启东1,谭捍华21. 中南大学土木建筑学院2. 贵州省交通规划勘察设计研究院摘 要:软弱围岩条件下大跨度浅埋偏压小间距隧道合理的开挖方法是隧道工程界目前一个亟待解决的难题.采用有限元方法,对软弱围岩条件下大跨度浅埋偏压小间距隧道的动态施工及施工方法进行了数值模拟比选分析,研究成果有利于提高大跨度浅埋偏压小间距隧道的结构设计和施工水平,达到大跨度浅埋偏压小间距隧道结构设计和施工更为经济,合理的目标,具有较好的应用前景.关键词:大跨度;浅埋偏压;小间距隧道;数值模拟;......
脉冲偏压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构与性能的影响张晓柠1,陈康敏1,郑陈超1,黄燕1,关庆丰1,宫磊2,孙超21. 江苏大学材料科学与工程学院2. 中国科学院金属研究所材料表面工程研究部摘 要:利用电弧离子镀技术在TC4基体上制备CrNx薄膜,研究了脉冲偏压对薄膜的组织结构和力学性能的影响.结果表明,在一定范围内提高脉冲偏压可以显著减少薄膜表面熔滴的数量及尺寸,改善表面平整度,获得高质量的薄膜;同时随着脉冲偏压的升高,CrNx薄膜由CrN单相变为Cr,Cr2N和CrN三相组成,硬度与结合强度的峰值可分别达到24294.2MPa和43N;薄膜的摩擦系数在偏压幅值为-300V时具有最小值0.43.关键词:电弧离子镀;脉冲偏压;CrNx薄膜;组织结构;......
偏压隧道施工阶段的围岩稳定性数值模拟研究卢雷摘 要:针对海棠山隧道在建设过程出现的偏压情况,文章以海棠山隧道为工程背景,采用MIDAS/GTS NX有限元方法对不同侧覆土厚度下偏压隧道围岩稳定性进行数值模拟研究,分析偏压隧道围岩的位移场,应力场及塑性区随侧覆土厚度的变化规律.研究结果表明:随着侧覆土厚度的逐渐...,且在侧覆土厚度较小(t=5 m)时,塑性区基本分布在滑坡带内.关键词:偏压隧道;侧覆土厚度;围岩稳定性;位移场;数值模拟;......
负偏压对电弧离子镀CrAlN涂层组织和性能的影响蔺增1,陈彬1,乔宏11. 东北大学机械工程与自动化学院摘 要:采用电弧离子镀技术在高速钢基底上沉积Cr Al N涂层.对Cr Al N涂层的表面形貌,微观组织,显微硬度,结合强度,摩擦学性能进行了分析,研究了负偏压对Cr Al N涂层组织和性能的影响.结果表明:在一定范围内随着负偏压的增加,涂层表面大颗粒数量逐渐减少,涂层变得更加致密;但过大的负偏压导致离子轰击作用过强,使涂层表面再次出现缺陷.当负偏压为-200 V时,涂层的晶粒尺寸最小,并具有良好的结晶度.涂层的显微硬度和结合强度均随负偏压的增加呈现出先增加后减小的趋势.当负偏压为-200 V时,显微硬度达到最大值,为28.6 GPa,同时具有最好的摩擦学性能.关键词:负偏压;表面形貌......
