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降温速率对ITO靶材相组成的影响 刘家祥1,李亚静1 (1.北京化工大学化工资源有效利用国家重点实验室,材料科学与工程学院,北京,100029) 摘要:对400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000 ℃温度下煅烧制得的氧化铟锡(ITO)粉体进行X射线衍射分析, 利用Vegard定律分析得到的衍射数据计算出靶材的晶格常数和氧化锡在ITO靶材中的固溶度, 得出ITO靶材中氧化锡的固溶度大小主要与温度有关, 氧化锡相在靶材中的固溶度随着温度的升高而增大的结论.靶材热压烧结降温时, 保持120~150 ℃·h-1的降温速率可以得到纯度为99.995%, 相对密度为99.274%的氧化铟单相ITO靶材. 关键词:ITO靶材; 降温速率; 固溶度; 相组成; [全文内容正在添加中] ......
共沉淀粉末与混合粉烧结ITO靶材的微观组织结构研究(英文)马晓波1,张维佳1,王东新2,孙本双2,钟景明21. 北京航空航天大学2. 西北稀有金属材料研究院国家钽铌工程技术研究中心摘 要:磁控溅射ITO靶材制备ITO透明导电薄膜作为平板显示,太阳能电池,气敏元件等电子器件的电极材料,需要ITO靶材具有高纯度,高均匀性,高密度,高导电性的特点.对比研究了ITO共沉淀粉与In2O3,SnO2单体混合粉同炉烧结ITO靶材的微观组织结构差异,如:晶粒尺寸分布,晶粒形貌,元素分布,烧结速率等.结果表明:单体混合粉的烧结速率要比共沉淀粉的烧结速率高,但是前者烧结ITO靶材的微观组织结构不及后者烧结的均匀性好.对比而言,共沉淀粉更容易获得结构组织均匀的ITO靶材,但前提是要合理的设计烧结工艺抑制烧结过程中In2O3......
J. Cent. South Univ. Technol. (2011) 18: 1945-1952 DOI: 10.1007/s11771-011-0927-8 Glass-ceramics made from arc-melting slag of waste incineration fly ash LIU Han-qiao(刘汉桥), WEI Guo-xia(魏国侠), LIANG... concentration of heavy metals, can be the substitute of nature materials such as marble, granite and porcelain tiles. Key words: waste incineration fly ash; arc-melting; glass-ceramics; crystallization......
ITO靶材在磁控溅射过程中的结瘤诱因分析崔晓芳,吴晓飞,郗雨林中国船舶重工集团公司第七二五研究所摘 要:研究了ITO靶材在磁控溅射过程中的结瘤问题,借助SEM对可能促使结瘤产生的因素进行了分析.结果表明,裂纹,孔隙等缺陷是结瘤产生的主要原因.关键词:ITO靶材;结瘤诱因;磁控溅射;......
Laboratory testing of a densified municipal solid waste in BeijingJIE Yu-xin(介玉新)1, XU Wen-jie(徐文杰)1, DUNZHU Danzeng(旦增顿珠)1, WEI Yi-feng(魏弋峰)2, PENG Tao(彭涛)3, ZHOU Zai-yang(周载阳)3(1. State Key... and Surveying Ltd., Beijing 100007, China)Abstract:Municipal solid waste (MSW) and its disposal are gaining significant importance in geotechnical and geoenvironmental engineering. However, conventional......
Waste heat water pumping model with direct contact coolingKittiwoot Sutthivirode1, Naris Pratinthong1, Pichai Namprakai1, Natthaphon Roonprasang2, Taveewat Suparos3(1. Division of Energy Technology.... The main objective was to study feasibility of a pumping model for underground water. In this model, a heater installed within the heat tank represented sources of waste heat as energy input......
超声波-化学共沉淀法制备纳米ITO粉 戴永年1,姜宏伟1,宋宁1,邓又铵1,钟晓林1 (1.昆明理工大学,材料与冶金工程学院,昆明,650093) 摘要:以In,Sn硫酸盐为原料,采用超声波与化学共沉淀相结合的方法制备纳米ITO粉末,用TEM,sEM.XRD,BET等现代分析测试手段对制备的粉末进行表征.在反应温度为60-75℃,In3+浓度<160g/L,氨水浓度<400g/L,终点pH为6.8~8的条件下.得到的纳米ITO粉末颗粒呈球状,团聚少,分散性好,In2O3:snO2(质量)=9:1.平均粒径<50nm,比表面积>15m2/g. 关键词:材料合成与加工工艺; 纳米ITO粉体; 化学共沉淀法; 超声波; [全文内容正在添加中] ......
两种不同分散剂对ITO纳米粉末粒度和团聚的影响毛黎明,李历历,段学臣摘 要:利用溶胶凝胶法制取纳米铟锡氧化物(ITO)粉末,研究了两种不同的分散剂对粉末粒度,团聚的影响,并用差热分析(DTA),X-射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)分析了所制得粉末的形貌.结果表明:两种分散剂均有减少纳米粉末团聚程度的效果,二号分散剂效果优于一号分散剂,而添加一号分散剂所制备的ITO纳米粉末的晶粒度比添加二号分散剂的细小;二者都对纳米粉末的形貌影响不大.关键词:溶胶凝胶法;纳米ITO粉末;分散剂;团聚;......
ITO靶材的直流磁控溅射镀膜工艺研究崔晓芳,吴晓飞,郗雨林中国船舶重工集团公司第七二五研究所摘 要:对ITO靶材的直流磁控溅射工艺进行研究,通过正交试验方法确定制备ITO薄膜的最优工艺参数,并明确了溅射温度,氧氩比,溅射气压和溅射功率密度对ITO薄膜电阻率和可见光透过率的影响规律.最优工艺参数为溅射温度370℃,氧氩比0.5/40,溅射气压0.4 Pa,溅射功率密度0.17 W/cm~2.薄膜电阻率受各因素影响的主次顺序是:氧氩比>溅射温度>溅射气压>溅射功率密度.薄膜可见光透过率受各因素影响的主次顺序为:溅射温度>溅射气压>氧氩比>溅射功率密度.关键词:ITO靶材;ITO薄膜;直流磁控溅射;......
A novel recovery technology of trace precious metals from waste water by combining agglomeration and adsorption ZOU Hua-sheng(邹华生), CHU Zhu-qiang(储著强), LIN Gang(林 岗) School of Chemical and Energy...: A novel and efficient technology for separating and recovering precious metals from waste water containing traces of Pd and Ag was studied by the combination of agglomeration and adsorption. The recovery......