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感应耦合等离子刻蚀InP工艺 张靖1,江山1,张瑞康1,陈磊1 (1.武汉光迅科技股份有限公司,武汉,430074) 摘要:采用Cl2/CH4/N2感应耦合等离子体对InP进行了刻蚀.系统地讨论了RF功率,ICP功率,反应腔压力,气体流量等工艺参数对InP材料端面刻蚀的影响.通过优化工艺参数,获得了光滑垂直的InP刻蚀端面,刻蚀速率达到841 nm/min,与SiO2的选择比达到15:1. 关键词:干法刻蚀; 感应耦合等离子体; InP; 刻蚀端面; [全文内容正在添加中] ......
C/C-Cu复合材料的烧蚀性能孙乐,李红,李爱军,任慕苏,孙晋良上海大学复合材料研究中心摘 要:以聚丙烯腈预氧化纤维针刺毡为预制体,经碳化后采用CVI和树脂浸渍(IR)工艺制备出不同密度的多孔C/C预制件,然后采用气体压力浸渗方法制备了C/C-Cu复合材料.采用氢氧(H2-O2)焰对C/C-Cu的烧蚀性能进行测试考核.结果表明:以密度为0.99 g/cm3的C/C预制件制备出的C/C-Cu复合材料的线烧蚀率和质量烧蚀率均小于密度为1.9 g/cm3的C/C复合材料,其烧蚀性能良好;在烧蚀过程中C/C-Cu的铜基体的熔化吸收了大量的热量,降低了材料的表面温度,提高了材料的抗烧蚀性能;烧蚀机制主要是热氧化烧蚀和机械冲刷的综合作用.关键词:C/C-Cu复合材料;烧蚀性能;热解碳;气体压力浸渗;......
抗蚀剂的研究进展 王劲1,冯宗财1,王跃川1 (1.四川大学高分子材料工程国家重点实验室,四川大学高分子材料科学与工程系,成都,610065) 摘要:综述了紫外光曝光的抗蚀剂,电子射线抗蚀剂,X射线抗蚀剂,电沉积抗蚀剂的组成,成像原理和分辨率,并对几种高性能抗蚀剂的原理及用于抗蚀剂的新材料做了介绍. 关键词:抗蚀剂; 辐射固化; 图形加工; 印制电路; [全文内容正在添加中] ......
酸洗缓蚀剂ZZF缓蚀性能研究刘建平1,杨新丽1,周晓湘21. 河南工业大学化工学院2. 河南电力试验研究院摘 要:采用失重法,动电位扫描法,电化学交流阻抗法和SEM分析,研究了咪唑啉类缓蚀剂ZZF的缓蚀性能.结果表明:在50℃的5%HC l溶液中,4 mmol/L ZZF缓蚀剂能有效地提高碳钢的耐蚀性能;ZZF的缓蚀作用机理系几何覆盖效应,它在金属表面吸附成膜后,使阴极和阳极过程都受到了阻滞;ZZF试样膜质均匀,致密,厚度为6μm;根据EIS提出了相应的特征等效电路.关键词:缓蚀效率;极化曲线;交流阻抗;等效电路;......
流场稳定性及烧蚀时间对玻璃钢材料烧蚀性能的影响研究张蕾,江柏红,吴宪,彭广瑞,原涛航天特种材料及工艺技术研究所摘 要:本文以模压玻璃钢材料为研究对象,模拟材料高温烧蚀环境,以氧-丙烷焰流为热源,拟定测试方案,对材料进行烧蚀试验.探究在不同的热流密度值下,烧蚀距离对流场稳定性的影响,发现当热流密度值≥1.0 MW/m2时,烧蚀距离改变,热流密度值波动较小,流场稳定性较好.探究烧蚀时间对玻璃钢材料烧蚀性能的影响,分析材料表面形貌变化的原因,发现随着烧蚀时间延长,质量烧蚀率明显下降,材料的线烧蚀率和质量烧蚀率一致性较差,这是因为在较短的烧蚀时间内,模压玻璃钢材料分层膨胀导致线烧蚀率较小,但薄弱的炭层结构会导致材料质量下降明显,质量烧蚀率较大.随着烧蚀时间从60 s升至120 s,材料分层积聚导致材料强度相对......
H2S/CO2腐蚀环境中原油对缓蚀剂缓蚀性能的影响赵景茂1,李玉龙1,谷丰2,杨阳2,于勇21. 北京化工大学材料科学与工程学院2. 中国石油工程设计有限公司北京分公司摘 要:采用动态失重法和动电位极化技术研究了含H2S/CO2的盐水溶液中原油对3种不同类型缓蚀剂缓蚀性能的影响.结果表明:对水溶型缓蚀剂而言,当其在低浓度投加时,原油的存在可使缓蚀剂的缓蚀率显著降低,而在高浓度时,未产生影响.原油对各浓度的油溶水分散型缓蚀剂的缓蚀效果均有不同程度的减弱作用;原油使各浓度的油溶型缓蚀剂的缓蚀率均有明显的降低.通过缓蚀剂浓度测定发现,含有缓蚀剂的水溶液与原油混合之后,水溶型缓蚀剂大部分存于水相;油溶水分散型缓蚀剂大部分进入油相,少量留于水相;油溶型缓蚀剂几乎全部存于油相.关键词:H2S/CO2......
油田产出水中饱和CO2和SRB共存条件下十二胺缓蚀剂的缓蚀行为刘宏伟,张帆,吴亚楠,陶英光,张露,刘宏芳华中科技大学化学与化工学院材料与环境化学研究所摘 要:采用电化学阻抗谱,动电位极化,失重及超景深三维立体显微镜观察,研究了饱和CO2和硫酸盐还原菌(SRB)共存条件下十二胺缓蚀剂对20号钢的短期缓蚀行为.结果表明,无SRB存在条件下,缓蚀剂的缓蚀率高达95.8%.接种10%SRB恒温培养11d后,当缓蚀剂浓度低于20mg/L时,无缓蚀效果;当缓蚀剂浓度达到100mg/L时,缓蚀效果最好,失重数据表明缓蚀剂的缓蚀率可以达到85.2%.不同体系的SRB菌量测定结果表明,缓蚀剂对SRB具有一定的毒性作用,可以显著抑制SRB的生长.去除腐蚀产物的形貌表明,SRB和CO2共存时试样以均匀腐蚀为主,局部有明显的......
钢铁表面自组装缓蚀膜王海人1,2,陈凤2,屈钧娥2,江燕2,郭兴蓬11. 华中科技大学化学与化工学院2. 湖北大学材料科学与工程学院摘 要:分子自组装技术在表面工程,纳米技术,膜技术和生命科学领域已有很广泛的应用,对未来材料发展起到很重要的作用,已成为近年来科研工作者关注的重点之一.钢铁作为广泛应用的工程材料,因其容易被腐蚀的特点,缓蚀膜的研究关系重大.钢铁表面自组装分子膜不仅具有分子取向性好,排列紧密有序,热力学稳定,用量少,成本低等优点,而且缓蚀效果十分优良.因此,钢铁表面自组装缓蚀膜技术目前引起了众多学者的关注.本文综述了钢铁表面自组装缓蚀膜的主要体系,影响因素及其表征技术三个方面的最新研究进展,并对自组装膜的发展方向进行了展望.关键词:钢铁;自组装缓蚀膜;缓蚀效率;表征技术;......
新型水溶性缓蚀剂的研究及应用 赵文轸1,陈宗林1,黄学宾1 (1.西安交通大学材料学院,陕西,西安,710049;2.中原油田采油一厂,河南,濮阳,457071) 摘要:针对目前油田使用缓蚀剂存在油中溶解度大,缓蚀效果差的问题.采用密闭搅拌法对多种现有缓蚀剂进行了乳化性,水溶性,缓蚀剂效果评价,并在此基础上研制了新型ZYC-1型水溶性缓蚀剂.应用表明,油井及端点投加该缓蚀剂后,在投加量较小的情况下,总铁及腐蚀速率均有明显降低,缓蚀效果显著. 关键词:水溶性缓蚀剂; 腐蚀速率; 缓蚀率; 效果; [全文内容正在添加中] ......
天然海水中高效缓蚀剂对碳钢缓蚀作用的研究 杜敏1,穆振军1 (1.中国海洋大学化学化工学院,青岛,266003) 摘要:以锌盐,葡萄糖酸盐为主要缓蚀成分复配的适用于天然海水中碳钢的高效缓蚀剂,用失重法测定其缓蚀效率,并用电化学方法分析其缓蚀作用机理.结果表明:未预膜时缓蚀剂的临界浓度是280 mg/L,此时对碳钢的缓蚀率为93.8%,试样表面光亮如初,没有局部腐蚀;预膜后缓蚀剂的临界浓度降为210 mg/L,此时对碳钢的缓蚀率为93.1%.通过极化曲线分析可知该缓蚀剂是一种抑制阳极过程为主的混合型缓蚀剂.据交流阻抗谱图分析得到该缓蚀剂成膜反应分3个阶段:反应初期,缓蚀剂在电极表面初步吸附;反应中期,至浸泡48 h时第一层缓蚀膜形成;反应后期,缓蚀膜向多层发展. 关键词:缓蚀剂; 天然海水; 极化曲线; 交流阻抗; 缓蚀机理; [全文内容正在添加中] ......